Установка Applied Vantage Astra DSA (динамический поверхностный отжиг) ‒ это первая система Applied Materials для лазерного отжига, обладающая возможностью расширенного силицидирования, которое важно для продолжающегося пропорционального уменьшения размеров элементов. Построенная на лидирующей на рынке технологии быстрой термической обработке (RTP) Applied Materials, Astra DSA расширяет линейку продуктов для отжига в новом сегменте сверхбыстрого отжига. Applied Vantage Astra DSA обладает необходимой степенью контроля для следующих нескольких поколений устройств.

Разработанное как производительное, компактное и надежное устройство, система Astra DSA обеспечивает экономию средств и обладает необходимыми функциональными возможностями, столь критичными для данного типа отжига.

Лазер нагревает несколько верхних поверхностных слоев пластины до температуры более1000 ° C менее чем за миллисекунду, при скорости нагрева ~ 1 миллион градусов Цельсия в секунду. Данная возможность мгновенно изменять температуру от предварительного нагрева (ок. 100 ° C) до сверхвысоких температур с таким же мгновенным охлаждением резко снижает количество дефектов истока / стока, которые создают риск утечки тока и могут негативно повлиять на работу всего устройства.

Платформа Vantage может быть сконфигурирована с двумя камерами Astra или как гибридная комбинация одной камеры Astra с другой камерой с технологией быстрой термической обработки (RTP), включая Radiance® / Plus или RadOx ™.