Установка CM330 является самой передовой и функционально оснащенной в линейке CheckMate. Модель включает в себя узел держателя пластин размером 300 мм, стандартный джойстик с удобным и точным управлением, автоматизированные позиционеры пробников (модель CAP-946) с разрешением 0.5 мкм и лазер, смонтированный на высококачественном микроскопе марки Motic.