Бурное развитие вычислительных систем и технологический скачок в области микроэлектроники стал причиной огромного спроса на надежные микросхемы и специализированные микропроцессоры.

Компания Nikon создала конфокальную видеозимерительную систему NEXIV VMR-K3040ZC, ориентированную на решение комплекса задач по контролю качества широкого спектра полупроводниковых изделий.

Для видеозимерительной системы Nikon NEXIV VMR-K3040ZC была разработана новая оптическая измерительная система, которая решает проблему Z-измерений с помощью конфокальной технологии. Это оборудование создано для измерения объектов микронного уровня и оптимизировано для анализа полупроводников, с компенсацией искажений по всему полю зрения.

Оптимизированная система обработки изображений повышает контрастность и, как следствие, улучшает обнаружение края для обеспечения точности и повторяемости результатов.

Быстрое получение изображения и высокая скорость работы системы обеспечиваются использованием черно-белых CCD камер бездефектного прогрессивного сканирования.

Конфокальная система микроскопии имеет ряд преимуществ в сравнении с обычным оптическим микроскопом, в том числе в управлении глубиной резкости, устранением с изображения несфокусированной информации и способностью собирать единый оптический срез из серии снимков.

В результате 3D изображение, снятое при одном сканировании, получается очень точным и обеспечивает надежные данные для измерения высоты.

В результате 3D изображение, снятое при одном сканировании, получается очень точным и обеспечивает надежные данные для измерения высоты.